微电子工程是总理纳米处理, 和纳米技术注重电子,光子,生物电解,机电装置和系统的制造,以及它们在广义的电子,光子,能源,生命科学和环境中的应用。它还涵盖了扩展跨学科的“超过摩尔”和“超越摩尔”集成纳米电子/光子和微/纳米/生物系统的跨学科领域。通过其独特的同行评审文章,评论,加速出版物,短信和技术说明以及关于关键发展的最新研究新闻的混合物,微电子工程为工学院和工业专业人士的研究人员提供全面的全面覆盖令人兴奋,跨学科和动态的新领域。

该期刊描述了以下主题,并考虑主要是实验工作,或直接相关的理论/模拟工作,并支持田间的实验:

  • 微电子处理和材料(光刻,自组装,等离子加工,金属化,3D集成,相关材料?。)
  • 微/纳米工程/制造/技术/制造
  • 纳米电子和光子器件及其制造
  • 微系统,微生物(例如,传感器和纳米能器装置)及其制造
  • 微流体,寿命科学设备/传感器,以及集成的实验室和芯片及其制造

详细说明涵盖的主题如下:

1.纳米光刻和纳米模式:

  • 光学光刻
  • 电子光学方法和系统
  • X射线光学方法和系统
  • 抗拒
  • 纳米光刻的限制
  • NanoImprint光刻
  • EUV光刻和面具
  • 带电粒子的光刻和图案化
  • NanoImprint光刻技术和模板
  • 无掩模光刻
  • 新兴的纳米透明方法方法
  • 纳米透明理由的限制

2.模式转移

  • 离子技术
  • 等离子体处理
  • 用其他方法转移模式
  • 等离子体蚀刻
  • 等离子体纳米技术
  • 等离子体/光束纳米透射机
  • 器件的等离子体表面改性
  • 湿转移方法

3.材料

  • 金属化和屏障材料
  • 绝缘体上的硅
  • 电介质(低k和高k)
  • 互连
  • 新抗蚀材料
  • 用于器件制造的纳米材料
  • 嵌段共聚物
  • 聚合物和柔性基材
  • 分层(2D)材料及相关传递技术

4.纳米术,检验和测试

  • 电子束测试仪
  • 激光探针
  • 信号和图像处理
  • 纳米术学
  • AFM和扫描探针测量

5.先进的加工和纳米制作

  • 流程集成
  • 三维集成
  • 其他/新兴制造和制造技术
  • 3D打印
  • 快速热处理
  • 过程建模与仿真
  • 设备造型
  • 激光辅助加工
  • 自上而下/自下而上(自组装)纳米制剂
  • 增长,平面化,设备清洁技术
    • 等离子体沉积
    • MBE.
    • 其他增长技巧
    • 平面化和清洁技术

6.先进的纳米电子,光子,传感,能量收集和流体装置

  • 纳米电子,光电和光子器件
    • 神经形态计算的椎间膜装置
    • 陡坡或快速开关装置
    • 光子设备
    • 光电器件

  • 尺寸敏感设备属性
  • 内存设备

    • 磁性和旋转式装置

  • 先进的MOS设备
  • 真空纳米电子学
  • 柔性/有机/分子电子

    • 有机和分子电子
    • 灵活的电子产品
    • 可穿戴电子产品
    • 纸质电子产品
    • 印刷电子产品

  • MicroDevice,能量收集装置和传感器

    • 物理传感器和执行器
    • 能量收集设备

7.化学,生物,生物电子和流体装置。异质微纳米和生物系统

  • 电力系统(MEMS,NEM)
  • 力量MEMS.
  • rf mems.
  • 梅姆斯
  • 磁性MEMS.
  • 光学和光子系统
  • 微型和纳米流体装置
  • 泵送/阀门设备
  • 混合设备
  • 分离设备
  • 微反应器
  • 样品制备装置
  • 流体界面和集成
  • 生物学,化学,医学的小型化装置
  • 生物传感器
  • 化学传感器
  • 掺入器件中的仿生性能
  • 生物电子设备
  • Micro / Nano / Bio接口和互连设备
  • 芯片,芯片,生物米:Microotas
  • DNA /蛋白质芯片
  • 芯片上的细胞
  • 片上器官
  • 掺入系统中的仿生性质
  • 生物分析,诊断系统
  • 微散,预处理系统
  • 片上检测系统
  • 环境和食品监测系统
  • 微反应器

5(五种)类型的稿件被认为是:

  • 审查纳米电子,纳米制备,微纳米系统和应用中最新研究和进步的读者通知读者的文章(作者应该在提交之前通过审查提案和概要电子邮件编辑)
  • 加速出版物(字母),在该领域具有令人兴奋的研究突破
  • 常规原创研究论文
  • 用于原始有限调查的简短/技术说明或原始工业或工业相关的研究和开发工作的简短描述
  • 关于题称问题或表达关于相关领域的发展的看法,或评论以前发表的工作的议题和意见

编辑委员会

主编辑

  • Evangelos Gogolides博士教授
    纳米科学研究所,Aghia Paraskevi,15310,雅典,希腊

编辑特殊问题

  • 崔博士博士
    路易斯安那州立大学,巴吞鲁日,路易斯安那州,美国

地区编辑

  • Maan Alkaisi博士教授
    坎特伯里大学,8140,基督城,新西兰
  • Joel M. Barnett博士
    东京电子美国控股公司,奥斯汀,德克萨斯州,美国
  • Joan Bausells教授
    全国微电子中心,08193,Bellaterra,西班牙
  • 艾哈迈德Busnaina博士教授
    东北大学高速纳米仪中心,467 egan Bldg,波士顿,马萨诸塞州,MA 02115,美国
  • 蔡博士蔡博士
    复旦大学信息科学与工程学院,200433年上海200433年220号韩丹路
  • Vassilios Constantoudis博士
    纳米科学研究所,Aghia Paraskevi,15310,雅典,希腊
  • Uros Cvelbar博士教授
    Jozef Stefan Institute,1000,卢布尔雅那,斯洛文尼亚
  • Maxime Darnon教授
    Sherbroke大学,Sherbrooke,J1K 2R1,魁北克,加拿大
  • Wim de Malsche博士教授
    Vub University,1050,布鲁塞尔,比利时
  • Christophe博士被剥夺了
    格伦大学,9000,绅士,比利时
  • 惠万段博士教授
    湖南大学机械工程学院,湖南大学机械和汽车工程学院,410082,长沙,湖南,中国
  • Irene Fernandez博士 - Cuesta
    汉堡大学,20148,汉堡,德国
  • Chien-Chong Hong博士教授
    国家青花大学电力机械工程系,第21号,匡富路,30013,台湾湖
  • Beomjoon Kim博士教授
    东京大学,东京113-0033,东京,日本
  • Dong Sung Kim博士教授
    浦项科技大学机械工程系,77张Cheongam-Ro,Nam-Gu,37673,韩国浦项
  • 吴璐教授
    俄亥俄州州立大学电气计算机工程系,205名Dreese实验室;2015年尼尔大道,哥伦布,俄亥俄州,43210,美国
  • Mario Lanza博士教授
    苏州苏州功能纳米和软材料研究所
  • Jaejong Lee博士教授
    韩国机械与材料研究所纳米融合机械系统研究部,156年Gajeongbuk-Ro,305-343,Daejeon,韩国,共和国
  • Sangho Lee博士
    韩国工业技术的植入,安山 - 斯南,韩国,共和国
  • Rodolphe Marie博士
    丹麦丹麦技术大学,2800,KGS Lygby,丹麦
  • Jean Francois de Marneffe博士
    环境中的微型电子中心,3001,莱鲁文,比利时
  • Sunggook博士公园
    路易斯安那州立大学机械与工业工程系,2514B Patrick F. Taylor Hall,Baton Rouge,Louisiana,70803,美国
  • FransescPérez-murano教授
    巴塞罗那的微电子学院,E-08193,西班牙Cerdanyola del Valles
  • 爱德华博士歌曲
    新汉普郡大学,电气计算机工程系,达勒姆,NH 03824,美国
  • 李涛博士教授
    东南大学材料科学与工程学院,南京德赢vwin安卓下载
  • Dimitris Tsoukalas教授
    National Metsovian Polytechnic,157 80,Zografos,希腊
  • Jeroen Van Kan博士教授
    新加坡新加坡国立大学,新加坡119260
  • 王博士王博士王
    上海技术物理研究所中国科学院,188年新莱路,嘉定曲,201815,上海史
  • 盛·朱德博士青年教授
    台湾省惠威632所大学国家福尔摩亚大学
  • RosaCórdoba博士
    瓦伦西亚大学分子科学研究所,帕特纳,西班牙

咨询编辑,欧洲

  • 乌利亚大罗基奥教授
    巴塞罗那自治大学,巴塞罗那,西班牙
  • 霍尔格博士贝克尔
    Microfluidic Chipshop GmbH,Jena,德国
  • HubertBrückl博士
    多瑙河大学克雷姆斯综合传感器系统,克雷姆斯,奥地利
  • 陈宇教授
    巴黎大学,法国巴黎
  • 马斯米莫德维多利奥教授
    意大利莱切大学
  • 米歇尔博士
    CSEM苏黎世,瑞士苏黎世
  • Zahid A. K. Durrani博士
    伦敦,伦敦,英国帝国学院
  • 托马斯·恩斯特博士
    法国替代能源和原子能委员会电子和信息技术实验室,格勒诺布尔,法国
  • Maria Farsari博士
    研究与技术基础Hellas图书馆,Irakleio,希腊
  • Guglielmo Fortunato博士
    Microelectronics和MicroSystems研究员国家研究委员会,意大利卡塔尼亚
  • Nikolaj Gadegaard博士
    格拉斯哥大学,格拉斯哥,苏格兰,英国
  • 吉姆格尔博士
    大学学院科克国立大学爱尔兰,科克,爱尔兰
  • Cornelis Wouter Hagen博士
    涂德夫特,荷兰代尔夫特
  • Mervyn E. Jones博士
    伦敦,伦敦,英国帝国学院
  • Dieter Kern博士
    Eberhard KarlsUniversityTübingen,德国慕尼黑
  • 萨尔沃·米拉贝拉博士
    卡塔尼亚大学,卡塔尼亚,意大利
  • 大卫普德拉德博士
    微电子技术实验室,格勒诺布尔,法国
  • Ivo Ranthelow博士
    伊尔梅瑙工业大学,伊尔梅瑙,德国
  • Helmut Schift博士
    Paul Scherrer Institute,Villigen,瑞士
  • 乌尔斯博士
    涂德夫特,荷兰代尔夫特
  • Maria Tenje博士
    乌普萨拉大学,乌普萨拉,瑞典
  • Christophe Vieu博士
    图卢兹学院,法国图卢兹

咨询编辑,美国

  • 穆罕默德·凯特博士
    国家科研研究所,魁北克,魁北克,加拿大
  • Panos Datskos博士
    橡树岭国家实验室,橡树岭,田纳西州,美国
  • Demetre Remologous教授
    休斯顿大学,休斯顿,德克萨斯州,美国
  • 斯蒂芬博士evoy
    阿尔伯塔大学,埃德蒙顿,阿尔伯塔,加拿大
  • 格雷格加拉丁博士
    应用数学解决方案LLC,纽敦,康涅狄格州,美国
  • 约翰哈特利先生
    Nuflare Technology America Inc,Sunnyvale,加利福尼亚州,美国
  • 帕特里克博士瓦伦博士
    E o Lawrence Berkeley国家实验室,伯克利,加利福尼亚州,美国
  • 伊恩帕帕特基教授
    伊利诺伊大学在芝加哥,芝加哥,伊利诺伊州,美国
  • 金伯利特纳教授
    加州大学圣巴巴拉,圣巴巴拉,加利福尼亚州,美国
  • 约瑟夫王教授
    加州大学圣地亚哥,拉霍亚,加利福尼亚州,美国

咨询编辑,亚洲 - 大洋洲

  • Hsuen-Li陈博士
    台湾国家台湾大学,台湾
  • Toshiaki博士Iwamatsu.
    Renesas Electronics Corporation,Koto-Ku,日本
  • 刘博士
    中国上海复旦大学
  • Hidenori Mimura教授
    静冈大学电子研究所,滨松,日本
  • 大成伟教授
    中国上海复旦大学

主编助理

  • Maria Martha Tzianou女士
    雅典纳米科学研究所,雅典,希腊